National Instrumtents Germany
Einsatz von FPGA-Modulen zur parallelen Vermessung von mikromechanischen Inertialsensoren auf Waferebene
Dr. Oliver Schwarzelbach, Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie

Die Hauptalgorithmik für die Charakterisierung von mikromechanischen Inertialsensoren auf Waferebene wird komplett in eine NI-FPGA-Karte der R-Serie implementiert. Die hierdurch erreichte Testzeitreduktion stellt eine deutlich Kosteneinsparung dar und ist gleichzeitig die Grundvorraussetzung für die kostengünstige hochvolumige Massenproduktion.


Schließen